TEOS 란?

TEOS 란 Tetra Ethyl Ortho Silicate 의 약자로 산화막 증착시 Si Source로 사용하는 물질을 말한다. 그 구조는 다음과 같다.

 

 

Si 를 중심원소로 해서 O와 C가 붙어있는 형태를 가진다.